Monografie

Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition

Language
Englisch
Identifier
122029389X

Series
Wissenschaftlich-technische Berichte; FZR-425

Subject
Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern ; Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern; Hochschulschrift

Contributor
Schmidt, Jan-Uwe

URN
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
26.01.2023, 1:58 PM CET

Object type


  • Monografie

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  • Schmidt, Jan-Uwe

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