Hochschulschrift

Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
In: Wissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf; FZR-425 2005

Erschienen in
Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZR-425

Schlagwort
Dünne Schicht
Flash-Speicher
Nanostrukturiertes Material
Silicium
Siliciumoxide
Sputtern
Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden, Dresden
(wer)
Forschungszentrum Dresden, Forschungszentrum Rossendorf
(wann)
2010
Urheber
Schmidt, Jan-Uwe

URN
urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-28765
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:49 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Schmidt, Jan-Uwe
  • Forschungszentrum Dresden, Forschungszentrum Rossendorf

Entstanden

  • 2010

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