- Sprache
-
Englisch
- Umfang
-
XVIII, 570 S.
- ISBN
-
978-3-540-76662-9
- Identifier
-
985929553
- Reihe
-
Springer series in materials science; 109
Thema
Magnetronsputtern ; Reaktives Sputtern ; PVD-Verfahren
Beteiligte Personen und Organisationen
Depla, Diederik
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
16.08.2023, 18:38 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Depla, Diederik
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