Monografie

CMOS out-of-plane stress sensor systems for IC package analysis

Sprache
Englisch
Umfang
V, 229 S.
Anmerkungen
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2012
ISBN
978-3-86247-302-1
Identifier
1027420966

Reihe
MEMS technology and engineering; Vol. 19

Thema
MEMS ; System-in-Package ; Schubspannung ; Normalspannung ; Resistiver Sensor ; Piezowiderstandseffekt ; CMOS ; Siliciumsensor ; Temperaturkompensation ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Lemke, Benjamin

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:42 MESZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


  • Lemke, Benjamin

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