- Sprache
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Englisch
- Umfang
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V, 229 S.
- Anmerkungen
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Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2012
- ISBN
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978-3-86247-302-1
- Identifier
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1027420966
- Reihe
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MEMS technology and engineering; Vol. 19
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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15.04.2024, 08:42 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Lemke, Benjamin