Monografie
Artefaktfreie Zielpräparation in hochintegrierten Mikrosystemen mit Schwerpunkt auf System-in-Package (SiP)
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
152 S.
- Anmerkungen
-
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2011
- ISBN
-
978-3-86247-150-8
- Identifier
-
1013143639
- Reihe
-
MEMS technology and engineering; Vol. 16
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:43 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Martens, Stefan