Hochschulschrift

Field effect transistor based CMOS stress sensors

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783899594584
3899594584
Maße
23 cm
Umfang
IV, 211 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2006

Erschienen in
MEMS technology and engineering ; Vol. 2

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Schlagwort
Sensor
Mechanische Spannung
Feldeffekttransistor
CMOS
MEMS
Piezoelektrizität

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Tönning, Lübeck, Marburg
(wer)
Der Andere Verlag
(wann)
2006
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:14 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2006

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