Hochschulschrift

Robust piezoresistive CMOS sensor microsystems

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783862473540
Maße
24 cm
Umfang
VIII, 208 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2013

Erschienen in
MEMS technology and engineering ; Vol. 20

Schlagwort
Siliciumsensor
Resistiver Sensor
Piezowiderstandseffekt
CMOS

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Uelvesbüll
(wer)
Der Andere Verl.
(wann)
2013
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:24 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2013

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