Influence of the magnetic field on the discharge physics of a high power impulse magnetron sputtering discharge

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Journal of Physics D: Applied Physics. 55

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Leipzig
(wer)
Universitätsbibliothek Leipzig
(wann)
2023
Urheber
Rudolph, M.
Brenning, N.
Hajihoseini, H.
Raadu, M.A.
Minea, T.M.
Anders, André
Gudmundsson, J.T.
Lundin, D.

URN
urn:nbn:de:bsz:15-qucosa2-851377
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:51 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Rudolph, M.
  • Brenning, N.
  • Hajihoseini, H.
  • Raadu, M.A.
  • Minea, T.M.
  • Anders, André
  • Gudmundsson, J.T.
  • Lundin, D.
  • Universitätsbibliothek Leipzig

Entstanden

  • 2023

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