Influence of the magnetic field on the discharge physics of a high power impulse magnetron sputtering discharge
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Erschienen in
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In: Journal of Physics D: Applied Physics. 55
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Leipzig
- (wer)
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Universitätsbibliothek Leipzig
- (wann)
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2023
- Urheber
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Rudolph, M.
Brenning, N.
Hajihoseini, H.
Raadu, M.A.
Minea, T.M.
Anders, André
Gudmundsson, J.T.
Lundin, D.
- URN
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urn:nbn:de:bsz:15-qucosa2-851377
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:51 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Rudolph, M.
- Brenning, N.
- Hajihoseini, H.
- Raadu, M.A.
- Minea, T.M.
- Anders, André
- Gudmundsson, J.T.
- Lundin, D.
- Universitätsbibliothek Leipzig
Entstanden
- 2023