Ion formation in an argon and argon-oxygen gas mixture of a magnetron sputtering discharge
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: Journal of Physics Communications 3, 5, 055011
- Schlagwort
-
-
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Greifswald
- (wer)
-
Universität Greifswald
- (wann)
-
2019
- Urheber
-
Hippler, R.
Cada, M.
Stranak, V.
Hubicka, Z.
- DOI
-
10.1088/2399-6528/ab1e82
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:9-opus-58926
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:33 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Hippler, R.
- Cada, M.
- Stranak, V.
- Hubicka, Z.
- Universität Greifswald
Entstanden
- 2019
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