Monografie
Investigations of perspective materials for aggressively scaled gate stacks and contact structures of MOS devices
- Language
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Englisch
- Notes
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Cottbus, Brandenburgische Techn. Univ., Diss., 2002
- Identifier
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968309127
- URN
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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26.01.2023, 1:57 PM CET
Object type
- Monografie