Substoichiometric Phases of Hafnium Oxide with Semiconducting Properties

Alternative title
Substöchiometrische Hafniumoxid-Phasen mit Halbleitenden Eigenschaften
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, Dissertation, 2023

Keyword
Nichtflüchtiger Speicher
Dünne Schicht
Hafniumdioxid
Dynamisches RAM
FRAM

Event
Veröffentlichung
(where)
Darmstadt
(who)
Universitäts- und Landesbibliothek
(when)
2023
Creator
Contributor

DOI
10.26083/tuprints-00024217
URN
urn:nbn:de:tuda-tuprints-242178
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
07.04.20255, 11:38 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2023

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