Influence of moisture on the ferroelectric properties of sputtered hafnium oxide thin films
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: 10.1063/5.0171345
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (wann)
-
2023
- Urheber
- DOI
-
10.18154/RWTH-2024-02424
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2024040502134264616436
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:52 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Berg, Fenja
- Kopperberg, Nils
- Lübben, J.
- Valov, Ilia
- Wu, Xiaochao
- Simon, Ulrich
- Böttger, Ulrich
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Entstanden
- 2023
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