Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
- Alternative title
-
Synthesis of novel single-source precursors for the chemical vapor deposition (CVD) of lead zirconate titanate (PZT)
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Dissertation, 2010
- Keyword
-
PZT
Dünne Schicht
CVD-Verfahren
Piezoelektrischer Aktor
Numerische Strömungssimulation
Piezoelektrischer Wandler
Piezokeramik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Saarbrücken
- (who)
-
Universität des Saarlandes
- (when)
-
2010
- Creator
- Contributor
-
Veith, Michael
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- DOI
-
10.22028/D291-24609
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291:415-7496
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:42 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Bender, Michael
- Veith, Michael
- INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- Universität des Saarlandes
Time of origin
- 2010
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