Hochschulschrift | Online-Publikation
Micro-Raman investigation of mechanical stress in Si device structures and phonons in SiGe
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
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Englisch
- Notes
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Cottbus, Brandenburgische Techn. Univ, Diss., 2000
- Keyword
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Siliciumbauelement
Mechanische Spannung
Raman-Spektroskopie
Silicium
Germanium
Mischkristall
Phonon
Raman-Spektroskopie
- Creator
- URN
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urn:nbn:de:kobv:co1-000000031
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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25.03.2025, 1:46 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation