Hochschulschrift

Micro-Raman investigation of mechanical stress in Si devise structures and phonons in SiGe

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
21 cm
Extent
112 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Cottbus, Brandenburgische Techn. Univ., Diss., 2000

Keyword
Siliciumbauelement
Mechanische Spannung
Raman-Spektroskopie
Silicium
Germanium
Mischkristall
Phonon
Raman-Spektroskopie

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Last update
11.03.2025, 11:42 AM CET

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