Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Bibliographic citation
-
Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZD-411
- Keyword
-
Kathode
Oberfläche
Messung
Sputtern
Magnetron
Atom
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden
- (who)
-
Forschungszentrum Dresden
- (when)
-
2010
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden
- (who)
-
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
- (when)
-
2010
- Creator
-
Güttler, D.
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-61184
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:31 AM CEST
Data provider
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Associated
- Güttler, D.
- Forschungszentrum Dresden
- Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
Time of origin
- 2010
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