Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Erschienen in
-
Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZD-411
- Schlagwort
-
Kathode
Oberfläche
Messung
Sputtern
Magnetron
Atom
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Forschungszentrum Dresden
- (wann)
-
2010
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
- (wann)
-
2010
- Urheber
-
Güttler, D.
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-61184
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:31 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Güttler, D.
- Forschungszentrum Dresden
- Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
Entstanden
- 2010
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