Magnetron sputter deposition of nanostructured AlN thin films

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Applied Nano 4 (4): 280-292 (2023)

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Hamburg
(wer)
Technische Universität Hamburg. Universitätsbibliothek
(wann)
2023
Urheber
Chirumamilla, Manohar
Krekeler, Tobias
Wang, Deyong
Kristensen, Peter K.
Ritter, Martin
Popok, Vladimir N.
Pedersen, Kjeld

DOI
10.15480/882.8977
URN
urn:nbn:de:101:1-2024011002100699705492
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:54 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Chirumamilla, Manohar
  • Krekeler, Tobias
  • Wang, Deyong
  • Kristensen, Peter K.
  • Ritter, Martin
  • Popok, Vladimir N.
  • Pedersen, Kjeld
  • Technische Universität Hamburg. Universitätsbibliothek

Entstanden

  • 2023

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