Untersuchungen zur CMOS-kompatiblen Herstellung freistehender, thermokatalytischer Sensorelemente zur Detektion brennbarer Gase
- Weitere Titel
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Investigations on the CMOS-compatible fabrication of free-standing thermocatalytic sensor elements for the detection of combustible gases
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Dissertation, 2021
- Schlagwort
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Sensor
Gas
Pellistor
CMOS
Katalysator
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Duisburg, Essen
- (wer)
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Universität Duisburg-Essen
- (wann)
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2021
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
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Vogt, Holger
- DOI
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10.17185/duepublico/74419
- URN
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urn:nbn:de:hbz:464-20210602-143251-5
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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14.08.2025, 10:49 MESZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Münchenberger, Finja Marina
- Vogt, Holger
- Universität Duisburg-Essen
Entstanden
- 2021