Untersuchungen zur CMOS-kompatiblen Herstellung freistehender, thermokatalytischer Sensorelemente zur Detektion brennbarer Gase

Weitere Titel
Investigations on the CMOS-compatible fabrication of free-standing thermocatalytic sensor elements for the detection of combustible gases
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Dissertation, 2021

Schlagwort
Sensor
Gas
Pellistor
CMOS
Katalysator

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Duisburg, Essen
(wer)
Universität Duisburg-Essen
(wann)
2021
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Vogt, Holger

DOI
10.17185/duepublico/74419
URN
urn:nbn:de:hbz:464-20210602-143251-5
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:49 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2021

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