Neuartiger CMOS-kompatibler nanostrukturierter Vakuumsensor

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Dortmund, Technische Universität, Dissertation, 2020

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Schlagwort
MEMS
Adsorption
Sensorik, Elektronik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dortmund
(wer)
Universitätsbibliothek Dortmund
(wann)
2020
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Fiedler, Horst
Vogt, Holger

Handle
2003/39783
URN
urn:nbn:de:101:1-2020102303421808623982
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:49 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2020

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