Hochschulschrift
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
II, 100 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Paderborn, Univ., Diss., 2002
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Rotationssensor
Entwurf
Mikromechanik
Oberflächenmontage
CMOS
Siliciumbauelement
- Creator
-
Sasse, Philipp Wilhelm
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:16 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Sasse, Philipp Wilhelm
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