- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181467091
318146709X
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
V, 155 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 139 - 155
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 167, Reihe 9
- Keyword
-
LSI
Mehrschichtschaltung
CMOS
Metallisieren
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1993
- Creator
-
Vogt, Holger
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:16 PM CET
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Associated
- Vogt, Holger
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1993
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