Hochschulschrift
Integration kapazitiver Silizium-Mikrofone in ein Chip Scale Package
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844001143
- Dimensions
-
21 cm, 281 g
- Extent
-
XVI, 166 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2011
- Bibliographic citation
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 17
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Kondensatormikrofon
Siliciumbauelement
MEMS
Halbleitergehäuse
Flip-Chip-Technologie
Kundenspezifische Schaltung
Miniaturisierung
Technische Membran
Elektroakustische Eigenschaft
Zuverlässigkeit
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:32 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Winter, Matthias
- Shaker
Time of origin
- 2011
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