Thermomechanische Simulation von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Neubiberg, Universität der Bundeswehr München, Dissertation, 2021

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
MEMS
Chip
Mikrofon
Kriechen
Hysterese
Messung
Mikrofon ; MEMS ; Hysterese ; Messung ; Simulation ; Numerisches Verfahren ; Hochschulschrift

Event
Veröffentlichung
(where)
Neubiberg
(who)
Universitätsbibliothek der Universität der Bundeswehr München
(when)
2021
Creator
Contributor
Hansch, Walter
Hansch, Walter
Feiertag, Gregor
Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

URN
urn:nbn:de:bvb:706-7677
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:52 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2021

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