Hochschulschrift

Dreidimensionale Aufbautechnik ultradünner Silizium Chips mit vertikaler Durchkontaktierung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783844057928
3844057927
Maße
21 cm, 287 g
Umfang
191 Seiten
Ausgabe
[1. Auflage]
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Illustrationen, Diagramme
Universität Stuttgart, Dissertation, 2017

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Dreidimensionale Integration
Durchkontaktieren
Chip
Dünne Schicht
Silicium
Poröser Stoff
Stapel
Technische Membran
Wafer
Chip
Durchkontaktieren
Silicium
Hohlraumresonator

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker Verlag
(wann)
2018
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:03 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2018

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