Hochschulschrift
Dreidimensionale Aufbautechnik ultradünner Silizium Chips mit vertikaler Durchkontaktierung
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783844057928
3844057927
- Maße
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21 cm, 287 g
- Umfang
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191 Seiten
- Ausgabe
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[1. Auflage]
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Illustrationen, Diagramme
Universität Stuttgart, Dissertation, 2017
- Klassifikation
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Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
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Dreidimensionale Integration
Durchkontaktieren
Chip
Dünne Schicht
Silicium
Poröser Stoff
Stapel
Technische Membran
Wafer
Chip
Durchkontaktieren
Silicium
Hohlraumresonator
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Aachen
- (wer)
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Shaker Verlag
- (wann)
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2018
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:03 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Ferwana, Saleh
- Shaker Verlag
- Shaker Verlag
Entstanden
- 2018