Hochschulschrift
Mikro- und integriert-optische Silizium-Mikrofone mit intensitätsmoduliertem Ausgangssignal
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832219567
3832219560
- Dimensions
-
21 cm, 303 gr.
- Extent
-
193 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2003
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Mikrofon
Integriert-optisches Bauelement
Akustisches Signal
Modulator
Hohlleiter
Optisches Signal
Mikrofon
Integriert-optisches Bauelement
Akustisches Signal
Modulator
Fabry-Pérot-Interferometer
Optisches Signal
Mikrofon
Integriert-optisches Bauelement
Siliciumbauelement
Mikrosystemtechnik
Fotolithografie
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:29 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Klaiber, Martin
- Shaker
Time of origin
- 2003
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