Monografie
Plasmaabgeschiedene integriert optische Wellenleiter auf Silizium für die faseroptische Kommunikationstechnik
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
IX, 151 S.
- Anmerkungen
-
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss.
- ISBN
-
978-3-18-346910-9
- Identifier
-
950223166
- Reihe
-
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 10, Informatik, Kommunikation; Nr. 469
Thema
Siliciumoxinitride ; Lichtwellenleiter ; PECVD-Verfahren ; CMOS ; Integriert-optisches Bauelement ; Schaltungsentwurf ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:45 MESZ
Objekttyp
- Monografie
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