Monografie
Plasmaabgeschiedene integriert optische Wellenleiter auf Silizium für die faseroptische Kommunikationstechnik
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Extent
-
IX, 151 S.
- Notes
-
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss.
- ISBN
-
978-3-18-346910-9
- Identifier
-
950223166
- Series
-
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 10, Informatik, Kommunikation; Nr. 469
Subject
Siliciumoxinitride ; Lichtwellenleiter ; PECVD-Verfahren ; CMOS ; Integriert-optisches Bauelement ; Schaltungsentwurf ; Hochschulschrift
Contributor
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
15.04.2024, 8:45 AM CEST
Object type
- Monografie
Associated
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