Hochschulschrift
Structural and optical properties of PECVD grown silicon nanocrystals embedded in SiOxNy matrix : = Strukturelle und Optische Eigenschaften mittels PECVD hergestellter Silicium Nanokristalle
- Alternative title
-
Strukturelle und Optische Eigenschaften mittels PECVD hergestellter Silicium Nanokristalle
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Universität Freiburg, Dissertation, 2013
- Classification
-
Physik
- Keyword
-
PECVD-Verfahren
Nanokristall
Oxinitride
Online-Ressource
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Freiburg
- (who)
-
Universität
- (when)
-
2013
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.6094/UNIFR/9148
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:25-opus-91480
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:51 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Hartel, Andreas Markus
- Zacharias, Margit
- Universität
Time of origin
- 2013
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