- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
VI, 118, [13] Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Dresden, Techn. Univ., Diss., 1995
- Schlagwort
-
PECVD-Verfahren
- Urheber
-
Martin, Steffen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 11.06.2025, 11:52 UTC
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Martin, Steffen
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