Hochschulschrift
Untersuchungen zum PECVD-Prozess unter dem Aspekt der Einzelscheibenverarbeitung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
210 Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Dresden, Techn. Univ., Diss. A, 1989 (Nicht f.d. Austausch)
- Creator
-
Borrmann, Michael
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:56 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Borrmann, Michael
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