Hochschulschrift | Online-Publikation
Abscheidung und Charakterisierung von PECVD-Aluminiumoxidschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003
- Klassifikation
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Schlagwort
-
Aluminiumoxidkeramik
PECVD-Verfahren
Metallischer Werkstoff
Beschichten
Aluminiumoxidkeramik
Dünne Schicht
Stoffeigenschaft
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-9288urn:nbn:de:hbz:82-20041911
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:53 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
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