Hochschulschrift | Online-Publikation

Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung

zu Verbundenen Objekten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Dateien im PDF-Format
Heidelberg, Univ., Diss., 2003

Klassifikation
Chemie
Schlagwort
Carbonitride
Titanverbindungen
Titanhartstoff
Ionenplattieren
Borcarbonitride
Titanverbindungen
Hartstoff
Quaternäres System
PECVD-Verfahren
Ionenplattieren
IBAD Hartstoffschicht Ti-B-C-N

Urheber
Haag, Steffen

URN
urn:nbn:de:bsz:16-opus-38676
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:47 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

Beteiligte

  • Haag, Steffen

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