Hochschulschrift | Online-Publikation

Mikrowellenplasma-Simulation, Abscheidung und Charakterisierung von polykristallinen, dotierten und undotierten Diamantschichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003

Schlagwort
Diamant
Polykristall
Dünne Schicht
Diamant ; Mikrowellenplasma ; PECVD-Verfahren

Urheber

URN
urn:nbn:de:bsz:25-opus-6993
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:43 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

Beteiligte

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