Monografie
Mikrowellenplasma-Simulation, Abscheidung und Charakterisierung von polykristallinen, dotierten und undotierten Diamantschichten
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003
- Identifier
-
967671256
Subject
Diamant ; Polykristall ; Dünne Schicht ; Diamant ; Mikrowellenplasma ; PECVD-Verfahren; Hochschulschrift; Online-Publikation
Contributor
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:53 PM CET
Object type
- Monografie
Associated
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Korrelation der Mikrostruktur hochorientierter MWCVD-Diamantfilme mit dem elektrischen Transport
Abscheidung und Charakterisierung von PECVD-Aluminiumoxidschichten
Untersuchungen zur Synthese von Diamantfilmen mittels CVD-Prozeß in einer DC-Lichtbogenanlage
Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
Plasmaunterstützte Abscheidung diamantähnlicher Schichten für medizinische Anwendungen: Plasmawerkzeuge und Mechanismen
Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
Untersuchungen zur Synthese von c-BN-Schichten mit ECWR-PACVD und Boran-Ammonia als Eduktmaterial
Glimmplasmaunterstützte Schichtabscheidung von Hartstoffen aus silicium- und bororganischen Verbindungen
Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten
Betrachtungen zur Diamantsynthese für industrielle Anwendungen am Beispiel des DC-Plasma-Jet-CVD-Verfahrens
Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
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