Hochschulschrift | Online-Publikation
Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1998
- Keyword
-
CBN
Magnetronsputtern
Niederdruckentladung
Niederdruckentladung
Plasmadiagnostik
Emissionsspektroskopie
Langmuir-Sonde
Laserinduzierte Fluoreszenz
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066urn:nbn:de:swb:ch1-19990006-9559709898
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:33 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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