Monografie
Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Wuppertal, Univ., Diss., 2001
- Identifier
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964174111
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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26.01.2023, 13:57 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Soll, Christian