Hochschulschrift | Online-Publikation
Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Wuppertal, Univ., Diss., 2001
- Schlagwort
-
Hexamethyldisiloxan
Plasmapolymerisation
PECVD-Verfahren
Pulsfrequenz
- Urheber
-
Soll, Christian
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:468-20020045
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:48 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
- Soll, Christian
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