Monografie
Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Wuppertal, Univ., Diss., 2001
- Identifier
-
964174111
Thema
Hexamethyldisiloxan ; Plasmapolymerisation ; PECVD-Verfahren ; Pulsfrequenz ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
Soll, Christian
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:57 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Soll, Christian
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