Monografie

Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr

Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Wuppertal, Univ., Diss., 2001
Identifier
964174111

Thema
Hexamethyldisiloxan ; Plasmapolymerisation ; PECVD-Verfahren ; Pulsfrequenz ; Hochschulschrift; Online-Publikation

Beteiligte Personen und Organisationen
Soll, Christian

URN
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:57 MEZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Soll, Christian

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