Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
In: Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2019
RWTH Aachen University, Dissertation, 2018
- Bibliographic citation
-
Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Energie & Umwelt/Energy & environment ; 462
- Classification
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Keyword
-
Gas
Plasma
Solarzelle
Abscheidung
Fotovoltaik
Elektrode
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (when)
-
2019
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.18154/RWTH-2019-04974
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2019090409180174142177
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:42 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Grootoonk, Björn Olaf
- Rau, Uwe
- Wiggers, Hartmut
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Time of origin
- 2019
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