Hochschulschrift
The Application of Atomic Force Microscopy in Semiconductor Technology - Towards High-K Gate Dielectric Integration
- Weitere Titel
-
Anwendung der Rasterkraftmikroskopie in der Halbleitertechnololgie - Zur Integration dielektrischer Materialien hoher Permittivität
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, Dissertation, 2011
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Darmstadt
- (wer)
-
Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
- (wann)
-
2012
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Schwalke, Udo
Riechert, Henning
- URN
-
urn:nbn:de:tuda-tuprints-29314
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:48 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Stefanov, Yordan
- Schwalke, Udo
- Riechert, Henning
- Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
Entstanden
- 2012
Ähnliche Objekte (12)
High permittivity gate dielectric materials
Atomic Force Microscopy (AFM)
Scanning probe microscopy : atomic force microscopy and scanning tunneling microscopy
Progress in atomic force microscopy
Amplitude modulation atomic force microscopy
Development and properties of all-dielectric and metal-dielectric heterostructures at atomic scale
Photoluminescence intermittency of semiconductor quantum dots in dielectric environments
Investigating bioconjugation by atomic force microscopy
Noncontact atomic force microscopy, [Vol. 1]
Atomic force microscopy of biomimetic systems
Noncontact atomic force microscopy, Vol. 2
Atomic layer processing : semiconductor dry etching technology
High permittivity gate dielectric materials
Atomic Force Microscopy (AFM)
Scanning probe microscopy : atomic force microscopy and scanning tunneling microscopy
Progress in atomic force microscopy
Amplitude modulation atomic force microscopy
Development and properties of all-dielectric and metal-dielectric heterostructures at atomic scale
Photoluminescence intermittency of semiconductor quantum dots in dielectric environments
Investigating bioconjugation by atomic force microscopy
Noncontact atomic force microscopy, [Vol. 1]
Atomic force microscopy of biomimetic systems
Noncontact atomic force microscopy, Vol. 2
Atomic layer processing : semiconductor dry etching technology
High permittivity gate dielectric materials
Atomic Force Microscopy (AFM)
Scanning probe microscopy : atomic force microscopy and scanning tunneling microscopy
Progress in atomic force microscopy
Amplitude modulation atomic force microscopy
Development and properties of all-dielectric and metal-dielectric heterostructures at atomic scale
Photoluminescence intermittency of semiconductor quantum dots in dielectric environments
Investigating bioconjugation by atomic force microscopy
Noncontact atomic force microscopy, [Vol. 1]
Atomic force microscopy of biomimetic systems
Noncontact atomic force microscopy, Vol. 2