- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783527346684
3527346686
- Maße
-
25 cm, 584 g
- Umfang
-
XIV, 284 Seiten
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Illustrationen
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Halbleitertechnologie
Trockenätzen
Plasmaätzen
Atomschichtätzen
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Weinheim
- (wer)
-
Wiley-VCH
- (wann)
-
2021
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:06 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Lill, Thorsten
- Wiley-VCH
- Wiley-VCH
Entstanden
- 2021
Ähnliche Objekte (12)
Mesoporous germanium layer formation by electrochemical etching
In situ studies on atomic layer etching of aluminum oxide using sequential reactions with trimethylaluminum and hydrogen fluoride
Metastable atomic layer deposition
Atomic Layer Deposition and Microanalysis of Ultrathin Layers
Chemistry of atomic layer deposition
Atomic Layer Deposition onto Fibers
Etching
Boundary Layers for Quantum Semiconductor Models
Optical Characterization of epitaxial semiconductor layers
Low-temperature chromium dry etching for ultimate profile control towards single-digit nanofabrication
Atomic layer deposition on biological matter
Atomic layer deposition of nanostructured materials
Mesoporous germanium layer formation by electrochemical etching
In situ studies on atomic layer etching of aluminum oxide using sequential reactions with trimethylaluminum and hydrogen fluoride
Metastable atomic layer deposition
Atomic Layer Deposition and Microanalysis of Ultrathin Layers
Chemistry of atomic layer deposition
Atomic Layer Deposition onto Fibers
Etching
Boundary Layers for Quantum Semiconductor Models
Optical Characterization of epitaxial semiconductor layers
Low-temperature chromium dry etching for ultimate profile control towards single-digit nanofabrication
Atomic layer deposition on biological matter
Atomic layer deposition of nanostructured materials
Mesoporous germanium layer formation by electrochemical etching
In situ studies on atomic layer etching of aluminum oxide using sequential reactions with trimethylaluminum and hydrogen fluoride
Metastable atomic layer deposition
Atomic Layer Deposition and Microanalysis of Ultrathin Layers
Chemistry of atomic layer deposition
Atomic Layer Deposition onto Fibers
Etching
Boundary Layers for Quantum Semiconductor Models
Optical Characterization of epitaxial semiconductor layers
Low-temperature chromium dry etching for ultimate profile control towards single-digit nanofabrication
Atomic layer deposition on biological matter