Hochschulschrift

Metastable atomic layer deposition

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
31 cm
Extent
XVII, 154 Seiten
Language
Englisch
Notes
Illustrationen
Technische Universität Ilmenau, Dissertation, 2020

Classification
Industrielle und handwerkliche Fertigung

Event
Veröffentlichung
(where)
Ilmenau
(when)
[2020]
Creator

Table of contents
Rights
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Last update
11.06.2025, 2:19 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • [2020]

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