Hochschulschrift
Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783183266098
3183266091
- Maße
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21 cm
- Umfang
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VIII, 130 S.
- Ausgabe
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Als Ms. gedr.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1997
- Erschienen in
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Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 266, Reihe 9
- Schlagwort
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Elektrische Lampe
Mikrosystemtechnik
Siliciumnitrid
Temperaturstrahlung
Glimmentladung
CMOS
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:38 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hell, Stephan
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1997