Hochschulschrift

Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183266098
3183266091
Maße
21 cm
Umfang
VIII, 130 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1997

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 266, Reihe 9

Schlagwort
Elektrische Lampe
Mikrosystemtechnik
Siliciumnitrid
Temperaturstrahlung
Glimmentladung
CMOS

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1997
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:38 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1997

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