Hochschulschrift

Untersuchungen zu CMOS-kompatiblen Bauelementen mit SiGe-Si-Heterostrukturen auf SIMOX-Substraten

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
121 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Duisburg, Univ., Diss., 2000 (Nicht für den Austausch)

Keyword
Silicium
Germanium
Epitaxieschicht
Heterostruktur
CMOS
SIMOX
Silicium
Germanium
Heterostruktur
CMOS
SIMOX

Creator
Trui, Bernhard

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Last update
11.03.2025, 12:19 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Trui, Bernhard

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