Hochschulschrift | Online-Publikation
Untersuchungen zu CMOS-kompatiblen Bauelementen mit SiGe-Si-Heterostrukturen auf SIMOX-Substraten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Duisburg, Univ., Diss., 2000
- Keyword
-
Silicium
Germanium
Heterostruktur
CMOS
SIMOX
Silicium
Germanium
Epitaxieschicht
Heterostruktur
CMOS
SIMOX
- Creator
-
Trui, Bernhard
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:464-duett-06182001-0941406
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:31 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Associated
- Trui, Bernhard
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