Hochschulschrift | Online-Publikation
Untersuchungen zu CMOS-kompatiblen Bauelementen mit SiGe-Si-Heterostrukturen auf SIMOX-Substraten
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Duisburg, Univ., Diss., 2000
- Schlagwort
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Silicium
Germanium
Heterostruktur
CMOS
SIMOX
Silicium
Germanium
Epitaxieschicht
Heterostruktur
CMOS
SIMOX
- Urheber
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Trui, Bernhard
- URN
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urn:nbn:de:hbz:464-duett-06182001-0941406
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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25.03.2025, 13:48 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
- Trui, Bernhard