Hochschulschrift | Online-Publikation

Untersuchungen zu CMOS-kompatiblen Bauelementen mit SiGe-Si-Heterostrukturen auf SIMOX-Substraten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Duisburg, Univ., Diss., 2000

Schlagwort
Silicium
Germanium
Heterostruktur
CMOS
SIMOX
Silicium
Germanium
Epitaxieschicht
Heterostruktur
CMOS
SIMOX

Urheber
Trui, Bernhard

URN
urn:nbn:de:hbz:464-duett-06182001-0941406
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:48 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

Beteiligte

  • Trui, Bernhard

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