Hochschulschrift
Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783816751687
3816751687
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
V, 127 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1997
- Schlagwort
-
Mikrosystemtechnik
CMOS
Substrat
Elastizität
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Fraunhofer-IRB-Verl.
- (wann)
-
1998
- Urheber
-
Trieu, Hoc-Khiem
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:21 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Trieu, Hoc-Khiem
- Fraunhofer-IRB-Verl.
Entstanden
- 1998
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