Hochschulschrift
Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783816751687
3816751687
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
V, 127 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1997
- Keyword
-
Mikrosystemtechnik
CMOS
Substrat
Elastizität
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Stuttgart
- (who)
-
Fraunhofer-IRB-Verl.
- (when)
-
1998
- Creator
-
Trieu, Hoc-Khiem
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:21 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Trieu, Hoc-Khiem
- Fraunhofer-IRB-Verl.
Time of origin
- 1998
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