Sputter Depth Profiling of Thin Films

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Sputter Depth Profiling of Thin Films ; volume:17 ; number:1-2 ; year:1998 ; pages:13-28
High temperature materials and processes ; 17, Heft 1-2 (1998), 13-28

Urheber
Hofmann,, Siegfried

DOI
10.1515/HTMP.1998.17.1-2.13
URN
urn:nbn:de:101:1-2501260514367.363192417226
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:25 MESZ

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Beteiligte

  • Hofmann,, Siegfried

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