Hochschulschrift

Stress and microstructure of sputter deposited thin copper and niobium films

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
21 cm
Extent
IX, 93 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003

Bibliographic citation
Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung ; Nr. 132

Keyword
Metallschicht
Sputtern
Mechanische Spannung
Texturanalyse
Röntgenbeugung
Elastische Spannung / Messung ; Mikrostruktur ; Textur ; Röntgenbeugung

Event
Veröffentlichung
(where)
Stuttgart
(who)
Max-Planck-Inst. für Metallforschung
(when)
2003
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:34 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2003

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