Hochschulschrift
Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PE-CVD) von Multifunktionsschichten aus dem Precursorensystem Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Stuttgart, Universität Stuttgart, Dissertation, 2015
- Classification
-
Physik
- Keyword
-
Plasma
Beschichten
Gasphase
Ausgangsmaterial
Permeation
Hexamethyldisiloxan
Gas
HDPE
Chemischer Reaktor
Abscheider
Teilchen
Hartstoff
Beschichtung ; Plasma
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Stuttgart
- (who)
-
Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
- (when)
-
2016
- Creator
- Contributor
-
Hirth, Thomas
- DOI
-
10.18419/opus-8772
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-87897
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:50 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Baier, Maximilian Paul
- Hirth, Thomas
- Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Time of origin
- 2016
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